нагрівання реактора mocvd з індукцією
Реактори з індукційним нагріванням металоорганічного хімічного осадження з парової фази (MOCVD) – це технологія, спрямована на підвищення ефективності нагрівання та зменшення шкідливого магнітного зв’язку з входом газу. Звичайні реактори MOCVD з індукційним нагріванням часто мають індукційну котушку, розташовану поза камерою, що може призвести до менш ефективного нагрівання та потенційних магнітних перешкод із системою доставки газу. Останні… Читати далі